電気用語集

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海塩粒子

項目 海塩粒子 / かいえんりゅうし
英語 saline particle
意味 海の波がくだけで発生する海水の水滴粒子が、内陸部に流れ込んで浮遊しているもの。半導体製造などでは有害物質であり、徹底して除去することが要求される。