一般用語集

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フォトレジスト【photoresist】

項目 フォトレジスト【photoresist】
意味 薄膜にして光を照射すると,耐薬品性の大きな硬質膜になったり,逆に薬品に溶けやすくなったりする材料。感光性樹脂など。プリント配線基板,IC,LSI の製造,印刷版の作製などに利用。